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帶3路浮子混氣RTP管式爐RTP-1000-LV3F是專為半導(dǎo)體基片、太陽能電池及其它樣品(尺寸可達 3″ )的退火而設(shè)計,配有3路流量計和機械泵。本機采用 9KW的紅外燈進行加熱,Z快升溫速度可達 100℃/s,配有RS485 接口,可以通過控制軟件在計算機上控制運行并顯示溫度曲線。
1200℃單管滑動快速加熱冷卻爐OTF-1200X-80SL底部安裝一對滑軌,可手動進行爐體移動,Z高工作溫度達1200°C,加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環(huán)境下可以達到10°C/s。為獲得Z快加熱,可預(yù)先加熱爐子到設(shè)定的溫度,然后移動爐子到樣品位置;為獲得Z快冷卻,可在樣品加熱后移動爐子至另一端,本機是低成本進行快速熱處理的理想設(shè)備。
1500℃快速升溫管式爐GSL-1500X-RTP50是一款高溫管式爐,工作溫度能夠達到1500℃。本機底部設(shè)有一對滑軌,爐管通過滑軌可進行滑動平移,能夠?qū)崿F(xiàn)快速升溫和降溫的效果。為了實現(xiàn)Z快速度的加熱,可在理想的溫度下進行爐管的預(yù)加;為了更快速的冷卻,可移出爐管強迫進行空氣冷卻。因此,本機可廣泛用于冶金、機械、輕工、商檢、高等院校及科研部門,其性能可達到國外同類產(chǎn)品的標(biāo)準(zhǔn)。
1100℃雙管三溫區(qū)管式爐(石墨烯生長)GSL-1100X-III-D11-8外爐管直徑達到11″,內(nèi)管直徑8.5″,在加熱管一端裝有一對高真空不銹鋼法蘭,法蘭上配有機械壓力表和閥門,三個溫區(qū)都采用30段可編程數(shù)字控溫器,并配有K型熱電偶進行測溫,專門針對于在金屬箔上生長薄膜物質(zhì)。
1200℃雙管三溫區(qū)管式爐(石墨烯生長)OTF-1200X-III-D5-4Z高工作溫度可以達到1200℃,專門針對于用CVD方法在金屬箔上生長薄膜物質(zhì),如石墨烯、太陽能電池的電極材料和其他電池電極材料等。
小型高溫高壓管式爐OTF-1200X-HP-12爐管采用鎳基合金鋼制作而成,Z高溫度可達1100℃,同時可向爐管中通入氧氣、氮氣、水蒸氣及惰性氣體等。