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GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀

簡要描述:GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子濺射儀,可進行金、鉑、銦、銀等多種金屬的濺射鍍膜,樣品直徑可達50mm,鍍膜厚度可達300?,特別適用于SEM樣品的鍍膜。

  • 產品型號:
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2022-09-16
  • 訪  問  量:972

詳細介紹

品牌其他品牌價格區(qū)間1-5萬
產地類別國產應用領域化工,生物產業(yè),地礦,電子,綜合

GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子濺射儀,可進行金、鉑、銦、銀等多種金屬的濺射鍍膜,樣品直徑可達50mm,鍍膜厚度可達300?,特別適用于SEM樣品表面的鍍膜。配置有樣品濺射室真空表和濺射電流表,用以指示、監(jiān)控儀器狀態(tài);  特殊設計的鐘罩邊緣橡膠密封圈,可保證長期使用不會出現影響樣品濺射室真空度的玻璃鐘罩“崩邊"現象;陶瓷密封高壓頭比通常采用橡膠密封的更經久耐用。體積小,操作簡單,適合用于實驗室中對小樣品的鍍膜使用。1、設有真空表、濺射電流表,可實時監(jiān)控工作狀態(tài)。
2、通過調節(jié)濺射電流控制器、微型真空氣閥,控制真空室壓強、電離電流及選擇所需要的電離氣體,以獲得良好的鍍膜效果。
3、鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設計,可保證長期使用不出現玻璃鐘罩崩邊現象。
4、陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經久耐用。
5、根據電場中氣體電離特性,采用大容量濺射真空室和相應面積濺射靶,使濺射鍍層更均勻純凈。
6、已通過CE認證。

產品名稱GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀
產品型號
GSL-1100X-SPC-16
安裝條件本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水:不需要
2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地
3、氣:設備腔室內需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(帶減壓閥)
4、工作臺:尺寸600mm×600mm×700mm,,承重50kg以上
5、通風裝置:不需要
主要參數
1、電源:220V
2、總功率:<2000W(包括真空泵)
3、真空室:?160mm×120mm
4、樣品臺:?50mm,且高度可調,可同時進行8個SEM樣品的鍍膜
5、max均勻鍍膜:?45mm
產品規(guī)格

尺寸:400mm×300mm×400mm

重量:30kg

標準配件1、金靶材1個
2、進氣針閥1個
3、保險絲2個
可選配件金、銦、銀、鉑等各種靶材




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