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當(dāng)前位置:首頁(yè)  >  產(chǎn)品中心  >  管式爐  >  1000℃-1100℃管式爐  >  GSL-1100X-6-S6″單溫區(qū)CVD真空管式爐GSL-1100X-6-S

6″單溫區(qū)CVD真空管式爐GSL-1100X-6-S

簡(jiǎn)要描述:6″單溫區(qū)CVD真空管式爐GSL-1100X-6-S是一款爐管內(nèi)徑為6″的真空管式爐,可以在不同氣氛下,在Z大5″的基片上生長(zhǎng)多種薄膜。

  • 產(chǎn)品型號(hào):GSL-1100X-6-S
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2016-04-07
  • 訪  問(wèn)  量:1397

詳細(xì)介紹

 

產(chǎn)品型號(hào)

  6單溫區(qū)CVD真空管式爐GSL-1100X-6-S

主要特點(diǎn)

  1、雙層殼體,配有循環(huán)風(fēng)冷系統(tǒng)。爐體采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料,環(huán)保節(jié)能。殼體溫度<70℃。

  2、采用不銹鋼真空密封法蘭,使用雙硅膠密封圈進(jìn)行密封。

  3、設(shè)有K型測(cè)溫?zé)犭娕己?/span>一個(gè)額外的溫度校準(zhǔn)檢測(cè)系統(tǒng)。

  4采用PID控制器 ,可以設(shè)置30段升降溫程序。

  5、已通過(guò)CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

  1、電源:AC 220V  8KW

  2、石英管:內(nèi)徑Φ152mm,長(zhǎng)1016mm

  3、加熱元件:Ni-Cr-Al電阻絲

  4、加熱區(qū)域:600mm

  5恒溫區(qū)域200mm

  6、工作溫度:zui高1100,連續(xù)工作400-1000

  7、zui大升降溫速率:10/min

  8、熱電偶:雙K

  9、控溫精度:±1

  10、真空度:10-2torr(機(jī)械泵),10-5torr(分子泵)

  11、鎧裝熱偶檢測(cè)口:1個(gè)

  12、真空接口:KF40

產(chǎn)品規(guī)格

  尺寸:1000mm×680mm×920mm;重量:250kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

  石英管

1

2

  氧化鋁管堵

2個(gè)

可選配件

  1、軟件接口模塊和PC機(jī)

  2、石英管

  3、石英管堵

  4、K型熱電偶(Φ6.35mm×915mm,用于對(duì)爐膛溫度校準(zhǔn))

  5、真空泵

 

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