產(chǎn)品名稱

VGB-600-3HD薄膜電池制備系統(tǒng)

主要特點(diǎn)

1、配置三個(gè)靶槍，一個(gè)配套射頻電源通過(guò)轉(zhuǎn)換開(kāi)關(guān)可以分別連接至任一靶頭，用于各類靶材的濺射鍍膜（靶槍可以根據(jù)客戶需要任何調(diào)換）。

2、可制備多種薄膜，應(yīng)用廣泛。

3、體積小，操作簡(jiǎn)便。

4、整機(jī)模塊化設(shè)計(jì)，真空腔室、真空泵組、控制電源分體式設(shè)計(jì)，可根據(jù)用戶實(shí)際需要調(diào)整。

5、可根據(jù)用戶實(shí)際需要選擇電源，可以一個(gè)電源控制多個(gè)靶槍，也可多個(gè)電源單一控制靶槍（選配）。

6、可在手套箱內(nèi)進(jìn)行實(shí)驗(yàn)操作，更換各類易氧化的靶材用于鍍膜實(shí)驗(yàn)。

技術(shù)參數(shù)

三靶磁控濺射部分

1、電源電壓：220V  50Hz

2、總功率：2.5KW

3、極限真空度：< E-6mbar（配合本公司機(jī)械泵設(shè)備使用可達(dá)到 E-3mbar）

4、工作溫度：RT-500℃，精度±1℃（可根據(jù)實(shí)際需要提升溫度）

5、靶槍數(shù)量：3個(gè)

6、靶槍冷卻方式：水冷

7、靶材尺寸：Ø2″，厚度0.1mm-5mm（因靶材材質(zhì)不同厚度有所不同）

8、射頻濺射功率：300W/500W（可選）

9、載樣臺(tái)：Ø140mm

10、載樣臺(tái)轉(zhuǎn)速：1rpm-20rpm內(nèi)可調(diào)

11、保護(hù)氣體：Ar、N2等惰性氣體

12、進(jìn)氣氣路：質(zhì)量流量計(jì)控制2路進(jìn)氣，1個(gè)流量為100 SCCM，1個(gè)流量為200 SCCM

手套箱部分

1、電源：?jiǎn)蜗郃C110V-220V  50Hz/60Hz

2、殼體材料：304不銹鋼

3、手套箱腔體：1220mm×760mm×900mm

4、前級(jí)室：設(shè)有2個(gè)前級(jí)室，大前級(jí)室Ø360mm×600mm，小前級(jí)室Ø150mm×300mm

5、腔體環(huán)境：水含量<1ppm（20℃，1atm），氧含量<1ppm（20℃，1atm）

6、工作氣體：N₂、Ar、He等惰性氣體

7、控制氣體：壓縮空氣或惰性氣體

8、還原氣體：工作氣體和H₂的混合氣（如果凈化系統(tǒng)只有除水功能，還原氣體與工作氣體相同）

9、氣體凈化系統(tǒng)：德國(guó)BASF除氧材料、美國(guó)UOP高效吸水材料，凈化系統(tǒng)再生過(guò)程自動(dòng)控制，自動(dòng)除水、 除氧功能，可長(zhǎng)期、持續(xù)維持氣體純度在水<1ppm、氧<1ppm

10、壓力控制系統(tǒng)：腔體氣壓可通過(guò)PLC觸摸屏自動(dòng)控制，控制精度為±1Pa，也可通過(guò)腳踏開(kāi)關(guān)進(jìn)行手動(dòng)控制

11、過(guò)濾系統(tǒng)：進(jìn)、出氣端都裝有過(guò)濾器，過(guò)濾精度為0.3μm

12、控制系統(tǒng)：SIEMENS彩色觸摸屏（6寸），PLC控制系統(tǒng)，中英文雙語(yǔ)可切換；

水探頭采用美國(guó)GE品牌，0-1000ppm觸摸屏顯示，精度0.1ppm；

氧變送器采用美國(guó)AII品牌，0-1000ppm觸摸屏顯示，精度0.1ppm；

壓力傳感儀采用美國(guó)setra品牌，-2500-2500Pa觸摸屏顯示，精度±1Pa；

13、真空泵：采用英國(guó)EDWARDS品牌，抽速8.4m³/h-12m³/h

14、手套：美國(guó)NORTH品牌丁基合成橡膠

15、照明系統(tǒng)：飛利浦品牌熒光燈管

產(chǎn)品規(guī)格

三靶磁控濺射部分：500mm×560mm×660mm

手套箱部分：2300mm×1500mm×1900mm