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簡要描述:UNIPOL-1203化學(xué)機(jī)械磨拋機(jī),化學(xué)拋光機(jī)適用于CMP平坦化和平滑化工藝技術(shù), 整機(jī)研磨部分采用防腐材料,耐化學(xué)腐蝕,配置自動(dòng)滴料器和精密磨拋控制儀,全自動(dòng)觸摸屏面板,從加工性能和速度上同時(shí)滿足晶圓等面型加工的需求。
產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
詳細(xì)介紹
品牌 | 其他品牌 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 地礦,冶金,航天 |
UNIPOL-1203化學(xué)機(jī)械磨拋機(jī),適用于CMP平坦化和平滑化工藝技術(shù), 整機(jī)研磨部分采用防腐材料,耐化學(xué)腐蝕,配置自動(dòng)滴料器和精密磨拋控制儀,全自動(dòng)觸摸屏面板,從加工性能和速度上同時(shí)滿足晶圓等面型加工的需求。 1、超平不銹鋼拋光盤(平面度為每25mm×25mm小于0.0025mm)。
2、超精旋轉(zhuǎn)軸(托盤端跳小于0.01mm)。
3、設(shè)有兩個(gè)加工工位,可分別進(jìn)行控制。
4、配有全自動(dòng)控制觸摸屏面板,可設(shè)置主軸轉(zhuǎn)速、擺臂速度、磨拋時(shí)間。
5、配置自動(dòng)滴料器,流量速率可視化調(diào)整,自動(dòng)研磨和拋光。
6、配置GPC-100A精密磨拋控制儀,可調(diào)節(jié)壓力,修整面型,使磨拋更加方便快捷。
7、研磨部分采用防腐材料,耐化學(xué)腐蝕。
產(chǎn)品名稱 | UNIPOL-1203化學(xué)機(jī)械磨拋機(jī) | |
產(chǎn)品型號(hào) | UNIPOL-1203 | |
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:設(shè)備配有上水口及下水口,需自行連接自來水及排水 2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地 3、氣:無 4、工作臺(tái):尺寸800mm×600mm×700mm,承重200kg以上 5、通風(fēng)裝置:不需要 | |
主要參數(shù) | 主機(jī)部分 | |
1、電源:220V 2、功率:450W 3、磨拋盤轉(zhuǎn)速:10-240rpm 4、磨拋工位:2個(gè) 5、擺臂調(diào)節(jié)檔位:1-15檔 6、托盤端跳:0.008/250mm 7、不銹鋼磨拋盤:φ300mm 8、載樣盤:φ105mm 9、修盤環(huán):φ127.5mm | ||
GPC-100A精密磨拋控制儀 | ||
1、載樣盤直徑:Ø103mm 2、載樣盤軸向行程:12mm 3、數(shù)顯表精度:0.001mm 4、載樣盤可調(diào)加載壓力: 0.1kg-2.1kg 5、壓力確認(rèn)儀有效量程:1g-5000g 6、樣品裝卡方式:真空吸附 7、承載樣件尺寸:直徑≤103mm、 厚度≤12mm 8、尺寸:外徑146mm,高266mm | ||
自動(dòng)滴料器 | ||
SKZD-2滾筒滴料器 1、容積:1.5L 2、流量:0-35ml/min 3、尺寸:170×290×350mm; 重量:3kg SKZD-4自動(dòng)滴料器 1、加液泵:4個(gè) 2、料液瓶:600ml/瓶 3、計(jì)時(shí)范圍:1-999min 4、流量:0.1ml/min-10ml/min 5、尺寸:230×370×450mm; 重量:10kg | ||
產(chǎn)品規(guī)格 | 1、外形尺寸:550mm×700mm×420mm | |
序號(hào) | 名稱 | 數(shù)量 | 圖片鏈接 |
1 | 鑄鐵磨盤(Ф300mm花盤) | 1個(gè) | |
2 | 不銹鋼磨盤(Ф300mm平盤) | 1個(gè) | |
3 | 載物盤 | 1個(gè) | |
4 | 修盤環(huán) | 1個(gè) | |
5 | 拋光墊 (磨砂革、合成革、聚氨酯) | 各1片 | |
6 | 磁力片(帶背膠) | 2片 | |
7 | 研拋底片 | 2片 | |
8 | 剛玉研磨微粉 | 0.5kg | |
9 | 石蠟棒 | 4根 | |
10 | 二氧化硅懸浮拋光液 2040 W0.05 | 1瓶 |
序號(hào) | 名稱 | 功能類別 | 圖片鏈接 |
1 | YJXZ-12攪拌循環(huán)泵 | (可選) | |
2 | 精密測厚儀 | (可選) | |
3 | 陶瓷研磨盤 | (可選) | |
4 | 玻璃研磨盤 | (可選) | |
5 | 磁性樹脂金剛石研磨片 | (可選) |
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