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簡(jiǎn)要描述:VTC-100PA-I真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)工作時(shí)利用真空盤吸附的方式將樣品固定在載樣盤上,該設(shè)備可儲(chǔ)存12組程序,每組程序包含6個(gè)運(yùn)行階段。
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詳細(xì)介紹
品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
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VTC-100PA-I真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備。設(shè)備標(biāo)配兩個(gè)不同大小的真空吸盤,可根據(jù)樣品尺寸不同選擇不同的真空吸盤。VTC-100PA-I 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)工作時(shí)利用真空盤吸附的方式將樣品固定在載樣盤上,該設(shè)備可儲(chǔ)存12組程序,每組程序包含6個(gè)運(yùn)行階段。不同運(yùn)行階段設(shè)備轉(zhuǎn)數(shù)不同,使設(shè)備緩慢提升速度限速度,有利于薄膜材料在樣品表面均勻成膜,且不會(huì)過多浪費(fèi),節(jié)約材料。真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)具有操作簡(jiǎn)單、清理方便,體積小巧等優(yōu)點(diǎn),主要應(yīng)用于各大專院校、科研院所的實(shí)驗(yàn)室中進(jìn)行薄膜的生成過程。1、真空吸附方式固定樣件,操作簡(jiǎn)便。
2、真空度可以達(dá)到-0.08MPa。
3、使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置,以減少偏心而造成的震動(dòng)或飛片。
4、根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤,且更換方便簡(jiǎn)單。
5、電機(jī)采用24V直流無刷電機(jī),可靠性高,適應(yīng)性強(qiáng),維修與保養(yǎng)簡(jiǎn)單,噪音低,震動(dòng)小,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),啟動(dòng)快速穩(wěn)定,加速后運(yùn)行平穩(wěn),可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。
6、采用無油雙杠真空泵,體積小巧、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作容易、維護(hù)方便、不會(huì)污染環(huán)境等優(yōu)點(diǎn)。
7、腔體采用聚丙烯材質(zhì),使用壽命更長,提高耐化學(xué)腐蝕性和優(yōu)異的抗應(yīng)力開裂性能;機(jī)身采用鑄鋁結(jié)構(gòu),結(jié)實(shí)耐用且質(zhì)輕。
8、可在惰性氣體氣氛(如Ar、N2)下進(jìn)行涂層。
9、全英文操作系統(tǒng)。
10、具有開蓋保護(hù)功能,當(dāng)涂膜過程中或涂膜結(jié)束時(shí)打開上蓋后機(jī)器立刻迅速減速直到停止。
11、控制界面采用液晶顯示屏+單板機(jī)控制系統(tǒng),數(shù)值顯示更直觀可靠。
產(chǎn)品名稱 | VTC-100PA-I真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī) |
產(chǎn)品型號(hào) | VTC-100PA-I |
安裝條件 | 1、溫濕度:10-85%RH (at 25℃ 無凝露) 溫度: 0-45℃。 |
主要參數(shù) | 1、供電接口:主機(jī):AC220 50Hz 10A 加熱:AC220 50Hz 10A(此設(shè)備支持 AC110V 50/60Hz 產(chǎn)品定制) |
產(chǎn)品規(guī)格 | ·尺寸:450mm×340mm×280mm |
序號(hào) | 名稱 | 數(shù)量 | 圖片鏈接 |
1 | 真空吸盤(含O型圈) (?19mm和?60mm) | 2個(gè) |
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2 | 中心定位器(含4個(gè)定位柱) | 1個(gè) |
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3 | 滴膠注射器(20ml) | 1個(gè) |
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4 | 注射器支架 | 1個(gè) |
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5 | 無油真空泵 | 1個(gè) |
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6 | 橡膠管(含卡箍) | 1根 |
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序號(hào) | 名稱 | 功能類別 | 圖片鏈接 |
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